【真空常识】五种常见的超高真空体系简介

  图13便是该真空体系,分散泵串联两个液氮冷阱,并且线的烘烤。在此温度下,能够铲除真空室壁及冷阱壁上吸附的气体及凝聚的泵油。该体系一般能得到1.33×10-7Pa的极限线.线.机械泵14.超高线 油分散泵超高线.涡轮分子泵串联机械泵的真空体系

  关于某些有特别的条件的真空体系,如关于既要求得到超高真空或无油超高真空,又一起满意粗抽需求及能敷衍工艺过程中放出来的很多气体这样的体系,可采用组合式体系来满意规则的要求。图16给出无油超高真空镀膜机真空体系原理图。主泵为溅射离子泵,为了更好的进步真空度及排走蒸腾资料时发生的很多气体,配有钛提高泵。极限线Pa。用分子筛泵做主泵的预抽泵。此外,体系还配有吸附阱-机械泵粗抽体系,在压力大于1333Pa时,机械泵不易返油,用机械泵直接对真空室抽真空,当线Pa今后,机械泵经吸附阱9从旁路抽线.

  组合超高线给出了又一种型式的组合超高真空体系。该体系适合于真空封接炉、钽片炉等设备。体系的主泵为溅射离子泵—钛提高泵组。线Pa。体系配有油分散泵-机械泵组成的机组,用来粗抽和作为主泵的预抽泵,一起能抽走工艺过程中放出来的很多气体。

  图17 组合超高线.线.超高线.溅射离子泵-钛提高泵组 4.超高线.超高线.机械真空泵