热导传感器用于前级泵抽真空时真空度的测量

更新时间:2024-02-25 作者: 耐腐蚀泵
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  真空泵是一种利用机械、物理、化学、物理和化学等方法对容器抽真空,以获得并保持真空的装置的气体输送器械。它将低于大气压的环境中的气体输送到大气中,或在同一环境中以大气压输送气体。真空泵的作用是从真空室内抽出气体分子,使设备内的压力小于整机大气压,使真空室内的气体压力降低,达到所要求的真空度。

  随着真空应用的发展,真空泵的种类非常之多,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万或几百万升不等。极限压力(极限线Pa以上的极高真空。为了能够更好的保证真空泵能达到较高的真空度,一定要保证真空泵转子之间的间隙。因此,在使用真空泵时,必须配备前级泵。

  由于真空应用部门所涉及的工作所承受的压力范围很广,任何类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作所承受的压力范围。只能根据不同的工作所承受的压力范围和不同的工作要求采用不一样的型式。真空泵。为使用的方便和各种真空工艺的需要,有时将各种真空泵按其性能要求做组合,以单元式应用。真空泵抽的真空度测量一般使用

  瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2601,遵循没有化学反应的物理皮拉尼原理,能够正常的使用在串扰气体环境中,,与一个简单恒定的温度电路兼容。

  荷兰Xensor热导式气体传感器- XEN-TCG3880:是用硅技术制造的热导式传感器。传感器芯片包含了2.5*3 33mm的硅晶片, 0.3mm的厚度,有一层氮化硅的薄膜,可用于10mPa~10KPa之间的真空度测量。


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