真空泵的基本信息参数

  用机械，物理，化学或物理化学法对腔体进行抽气，以取得真空的机器叫真空泵。真空泵有下列主要参数：

  (1)抽气速率：即泵的生产才能。便是关于给定气体，在必定温度，压力下，单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位为m/s或m/h

  (2)极限真空：真空泵在特定条件下，经抽气到达安稳状况的最低压力，单位为Pa或%。

  (3)抽气量：在必定温度下，单位时间内从设备内抽走给定的气体量，单位为m/h

  (5)最大反压力：真空泵在指定负荷下作业，其反压力升高到某必定值时，泵失掉正常的抽气才能，该压力称为最大反压力

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